2024年12月9日，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，安徽日競控制技術(shù)有限公司申請一項名為“一種光刻機超靜態(tài)精密溫度供液控制系統(tǒng)”的專利，公開號CN119087749A，申請日期為2024年8月。專利摘要顯示，本發(fā)明涉及光刻機溫度控制技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種光刻機超靜態(tài)精密溫度供液控制系統(tǒng)，包括制冷系統(tǒng)的動態(tài)仿真模型，用于模擬和分析蒸發(fā)循環(huán)制冷系統(tǒng)的行為，其中制冷系統(tǒng)包括具有特定結(jié)構(gòu)配置的壓縮機、蒸發(fā)器、冷凝器和膨脹閥；精密加熱溫控系統(tǒng)傳熱特性的分析模型。通過采用模糊PID控制結(jié)合Smith預(yù)估器的智能控制策略，系統(tǒng)能夠更精確地調(diào)節(jié)溫度，減少超調(diào)量和響應(yīng)時間，這對于光刻過程極其關(guān)鍵，因為即使是極微小的溫度波動也會對光刻質(zhì)量產(chǎn)生顯著影響，通過改進的控制算法，系統(tǒng)能自動適應(yīng)不同的熱負荷和變化的操作條件，保證在各種環(huán)境下都能維持穩(wěn)定的溫度輸出，從而顯著提高光刻圖案的精確度和一致性。