光智科技申請新型鎵源除氣專利
2024-11-29 10:56
來源：我的鋼鐵網(wǎng)
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2024年11月27日，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，安徽光智科技有限公司申請一項(xiàng)名為“一種新型鎵源除氣的方法”的專利，公開號CN119020857A，申請日期為2024年8月。專利摘要顯示，本發(fā)明涉及Ⅲ族化合物材料技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種新型鎵源除氣的方法，包括鎵源除氣和GaAs外延層的生長，并提供了具體的鎵源除氣步驟。本發(fā)明在真空條件下，在生長室內(nèi)對Ga源進(jìn)行多步升溫除氣，去除Ga源中的雜質(zhì)以及氧化物，并通過外延設(shè)備生長了GaAs外延層材料，利用缺陷分析儀和電子顯微鏡表征手段驗(yàn)證了本發(fā)明中的除氣方法，可以有效地降低GaAs外延層中的缺陷數(shù)量以及大尺寸缺陷的數(shù)量。
資訊編輯：陳琪琪 021-26094271
資訊監(jiān)督：高晨曦 021-26093388
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