2024年11月9日，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，包頭美科硅能源有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種磷銻共摻摻雜工藝方法”的專利，公開號(hào)CN118910724A，申請(qǐng)日期為2024年7月。專利摘要顯示，本發(fā)明涉及單晶硅制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種磷銻共摻摻雜工藝方法。包括加料摻雜和裝置補(bǔ)摻；所述加料摻雜為爐臺(tái)正常加料時(shí)加摻；所述裝置補(bǔ)摻為爐臺(tái)不加料時(shí)補(bǔ)摻；所述加料摻雜為先根據(jù)頭部目標(biāo)電阻計(jì)算銻金屬和磷金屬摻雜量，再進(jìn)行加摻；所述裝置補(bǔ)摻為先根據(jù)補(bǔ)摻公式計(jì)算銻合金補(bǔ)摻量再使用摻雜裝置補(bǔ)摻本發(fā)明通過磷銻摻雜金屬共同補(bǔ)償，前期銻金屬主導(dǎo)影響電阻率，后期銻金屬揮發(fā)，磷金屬電阻補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)電阻率一致性，最終電阻率可實(shí)現(xiàn)頭尾電阻率差異在0.1Ω之間，提升硅片效率。