映日科技取得ITO旋轉靶材制備專利
2024年7月28日,蕪湖映日科技股份有限公司取得一項名為“一種制備太陽能電池行業(yè)ITO旋轉靶材的方法“,授權公告號CN116332637B,申請日期為2023年2月。專利摘要顯示,本發(fā)明屬于ITO靶材制造的技術領域,涉及一種制備太陽能電池行業(yè)ITO旋轉靶材的方法;步驟S1:原材料選擇;步驟S2:氧化銦錫粉末球磨;步驟S3:氧化銦+氧化錫混合粉末煅燒;步驟S4:氧化銦+氧化錫煅燒粉末研磨;步驟S5:噴霧造粒;步驟S6:成型;步驟S7:高溫燒結;步驟S8:靶材經(jīng)過加工綁定沒有產(chǎn)生裂紋;將燒結后的靶材使用磨床加工成客戶需要的尺寸;本發(fā)明通過先煅燒的方式,使氧化錫先固溶進氧化銦分子中,避免燒結過程中因劇烈相變產(chǎn)生靶材破裂,因粉末經(jīng)過提前煅燒,從而制得的ITO靶材晶粒尺寸細小,晶界增多,從而提高了ITO靶材強度。