2024年7月28日，蕪湖映日科技股份有限公司取得一項(xiàng)名為“一種制備太陽(yáng)能電池行業(yè)ITO旋轉(zhuǎn)靶材的方法“，授權(quán)公告號(hào)CN116332637B，申請(qǐng)日期為2023年2月。專利摘要顯示，本發(fā)明屬于ITO靶材制造的技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種制備太陽(yáng)能電池行業(yè)ITO旋轉(zhuǎn)靶材的方法；步驟S1：原材料選擇；步驟S2：氧化銦錫粉末球磨；步驟S3：氧化銦+氧化錫混合粉末煅燒；步驟S4：氧化銦+氧化錫煅燒粉末研磨；步驟S5：噴霧造粒；步驟S6：成型；步驟S7：高溫?zé)Y(jié)；步驟S8：靶材經(jīng)過(guò)加工綁定沒(méi)有產(chǎn)生裂紋；將燒結(jié)后的靶材使用磨床加工成客戶需要的尺寸；本發(fā)明通過(guò)先煅燒的方式，使氧化錫先固溶進(jìn)氧化銦分子中，避免燒結(jié)過(guò)程中因劇烈相變產(chǎn)生靶材破裂，因粉末經(jīng)過(guò)提前煅燒，從而制得的ITO靶材晶粒尺寸細(xì)小，晶界增多，從而提高了ITO靶材強(qiáng)度。